Ein Siliziumkarbidsubstrat ist ein aus Kohlenstoff- und Siliziumelementen bestehendes, einkristallines Verbindungshalbleitermaterial, das sich durch eine große Bandlücke, hohe Wärmeleitfähigkeit, hohe kritische Durchbruchfeldstärke und hohe Elektronensättigungsdriftrate auszeichnet.